规格型号 :

X-MAX 150

设备原值 :

67.82（万元）

产地国别 :

英国

学科领域 :

自然科学相关工程与技术,材料科学,工程与技术科学基础学科

技术指标 :

150mm^2探头有效面积；分辨率优于127eV

主要功能 :

可以获得微观形貌像、原子序数像、成份的分析和点、线、面分布。

服务内容 :

能谱仪可对材料微区成分、元素种类和分布进行成像，还可对元素含量进行半定量的分析。与扫描电镜图像相结合，可以实现纳米级颗粒的成分分析，具有分析效率高、检测速度快、成本低和样品制备简单的优点。本设备主要应用项目包括：化学机械抛光后晶圆表面颗粒沾污，CMP后清洗效果的评估，掺杂元素分布成像等。

收费标准 :

30元/样品

用户须知 :

EDS检测极限，0.01%，只能做半定量分析，精度一般在1%到5%，深度一般为1微米，束斑大小取决于电子束，与放大倍率有关，放大倍率1000~10万倍，对于金属样品可以更高，对于非金属等不导电的样品可能只能做到5万倍。EDS能谱仪标准或规范的要求：对于非金属样品，为了提高放大倍率，需要镀金，样品原貌会有一定改变；对于金属样品，没有镀金要求。如果镀金，同样可以进行元素分析，计算时，减掉金元素的含量。不能作液态、漂浮粉末、微绒类样品，切片固封树脂如果没有完全固化也不能做，以免发生漏气、漏夜、粘污等情况污染真空室。