仪器信息
规格型号 :
PEALD-200A
设备原值 :
99（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
材料科学
技术指标 :
1. 反应腔体须带至少4个完全独立的前躯体入口，材料为AISI 316不锈钢。2. 配备4条完全独立的源管线与相应入口对应。3. 设备为双腔体结构，反应腔体独立安装在真空腔体内, 各自配置密封盖，真空
主要功能 :
原子层沉积系统是制备高性能致密薄膜的重要手段，具有良好的台阶覆盖率和精确的膜厚控制能力，主要用于燃料电池催化剂，氮化物，氧化物薄膜等沉积。
服务信息
服务内容 :
主要可以用来沉积材料，用于器件制备。
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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王德法
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