仪器信息
规格型号 :
非标定制
设备原值 :
55（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
化学,材料科学
技术指标 :
采用4+3双手套箱系统，在4手套箱内安装真空镀膜腔室和测试光路，在3手套的箱体装入匀胶机进行样品配制和薄膜加工。双手套箱各自具有独立的水氧循环监控系统，保证水氧含量低于1ppm。方形真空腔室采用不锈钢材质，内部体积：63L，保证具有足够的操作空间。设备采用国产机械泵和进口分子泵组合，在30分钟内，实现从标准大气压抽气到真空度≤2×10-4Pa。配置2组金属蒸发源和2组有机蒸发源，满足日均4批次以上的器件制备。
主要功能 :
手套箱内真空镀膜系统具有高真空金属（氧化物）电阻蒸发薄膜沉积装置，同时满足惰性气体环境的样品制备、器件检测及后期处理等。适用于有机和无机电子学器件制备。
服务信息
服务内容 :
金属/氧化物蒸镀
收费标准 :
请与仪器负责人联系
用户须知 :
按照《南开大学大型仪器设备管理办法》执行。
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马延风
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