仪器信息
规格型号 :
Savanch-100/200
设备原值 :
119（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
材料科学
技术指标 :
1. 具有4路前驱体源，其中1路不加热，另3路加热温度≥200 ℃。
2. 样品基底最大直径4英寸。
3. 最大沉积温度不高于300 ℃。
4.设备使用氮气做载气，控制载气流量10-1000 sccm。
主要功能 :
该原子沉积系统主要用于实验室级的薄膜制备，特别是致力于有机发光显示（OLED）的封装和场效应晶体管（FET）的介质层的层积。
服务信息
服务内容 :
生长发光薄膜层，介质保护层，材料表面修饰层
收费标准 :
院内500元/样品/，校内750元/样品，校外1000元/样品
用户须知 :
只对系统内认证的用户开放共享
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孙甲明
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