技术指标 :
1 离子枪:两只潘宁规式离子枪;
2 入射角: 10º 至 –10º,可独立调节;
3.样品台:X和Y方向的移动,移动范围:+/- 0.5mm;
4.离子束:
4.1能量: 0.1keV至8keV ;
4.2电流密度:10mA/cm2 Peak;
4.3束直径:350um FWHM at 5keV - 800um FWHM at 5keV;
5 真空度: 5 E-6Torr 基本压强, 工作时8E-5Torr;
6 冷台:
6.1类型:标准液氮冷台;
6.2控温:温度最低可达-150度,持续冷却时间6-8小时,
降温时间≤10 min,降温后样品温度-120ºC ± 25ºC;