仪器配置：Rh靶；高性能SDD检测器；6C-92U；准直器(1、3、5、10mm);CMOS摄像头

用途：定性/定量/半定量元素分析

原理:X射线管发出X射线照射样品，样品中所含的原子则向外发射原子特有的X射线。这种X射线被称为荧光X射线，各元素具有特定的波长（能量），通过检测X射线的波长进行定性分析。另外，荧光X射线的强度与浓度具有函数关系，检测每个元素X射线特征波长的X射线量就能进行定量分析。