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本发明提供一种雾霾颗粒物探测芯片及其制造方法,该芯片包括层状结构,从最底层到最上层依次为:玻璃基底、CdSe薄膜、贵金属纳米点阵列、银对梳妆电极系统、氧化铝薄膜和增透膜。采用本发明提供的雾霾颗粒物探测芯片,通过银对梳妆电极系统可以实现在保证较小的感光区域宽度的同时尽量增大感光面积,较小的感光区域宽度可以降低芯片的响应时间,并通过贵金属纳米点阵列放大光信号,从而提高芯片的检测灵敏度。
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夏蕊
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