详细信息：
成果简介：基于微加工技术的MEMS超声换能器具有微型化、大带宽、易于二维阵列制备及与ASIC集成等优点，在谐振式气体检测、超声成像诊断、超声神经调控与治疗、超声生物特征识别、超声姿态识别与非接触控制等领域具有广泛应用前景。
成果核心创新点：1.MEMS超声换能器匹配电路及应用；2.电容式(CMUTs)指标：芯片尺寸＜5mm×5mm；3.工作频率1~10MHz，工作电压≤50V，带宽130%；4.技术就绪度6级。
成果详细用途：
预期效益说明：MEMS超声换能器应用前景广阔，该技术成熟度高，预计市场潜力大。
成果简介：基于微加工技术的MEMS超声换能器具有微型化、大带宽、易于二维阵列制备及与ASIC集成等优点，在谐振式气体检测、超声成像诊断、超声神经调控与治疗、超声生物特征识别、超声姿态识别与非接触控制等领域具有广泛应用前景。
成果核心创新点：1.MEMS超声换能器匹配电路及应用；2.电容式(CMUTs)指标：芯片尺寸＜5mm×5mm；3.工作频率1~10MHz，工作电压≤50V，带宽130%；4.技术就绪度6级。
成果详细用途：
用于气体检测、超声成像、神经调控、生物特征识别、姿态识别与非接触控制等领域。
预期效益说明：MEMS超声换能器应用前景广阔，该技术成熟度高，预计市场潜力大。
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赵庆元
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