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摘要：一种一维硅纳米线阵列的制备方法，采用“自上而下”金属辅助化学刻蚀法，直接将切洗后的硅片放入稳定的金属盐的氢氟酸水溶液刻蚀液中，在超重力体系中，通过调节离心机的转速、温度、时间一步法可控制备高质量的一维硅纳米线阵列。本发明的制备方法通过在反应过程中引入超重力场，可以一步法制备不同形状的高质量的硅纳米线阵列，缩短反应时间。