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集成红外热传感器及其制造方法及成像系统和成像方法
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来源地:广东省-深圳市-南山区
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    本发明适用于传感技术领域,提供了一种集成红外热传感器,包括光输出装置、微环波导阵列组件、直波导阵列组件及光电探测器;微环波导阵列组件包括第一衬底及多个谐振波长不同的微环波导,其排布成并列的微环波导列;直波导阵列组件包括第二衬底及多个直波导,微环波导列与直波导一一上下对应且可实现参考光的耦合传输,还包括输入波导及输出波导;第一、第二衬底通过支撑柱对接。本发明在同一衬底上制作微环波导阵列,在另一衬底制作直波导阵列,将两组件组合构成像元阵列,在工艺上更易实现,尺寸、对位更加精准,有利于传感器的灵敏度和响应速度的提升,并且可采用一个探测器探测全部像元的输出光,既简化了结构又节约了成本。
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      康苏媛 

        

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