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发明专利 一种高硬度、高耐磨性的Zr-B-N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法 CN202110911632.3
详细信息：
本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的Zr‑B‑N/ZrO
2
纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。
该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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王威
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