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有效期内知识产权情况：
发明专利 一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法 CN201910897051.1
详细信息：
所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减磨特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
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张超
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