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发明专利 一种集成OCT精密检测模块的激光加工设备 CN202323154879.9
详细信息:
一种集成OCT精密检测模块的激光加工设备,包括外壳体、控制电路板、扫描振镜组、扫描驱动机构、加工光路组件、光路切换机构、检测光路组件及激光器;检测光路组件包括检测物镜和检测光程补偿单元,加工光路组件包括反射镜和加工场镜,扫描振镜组由扫描驱动机构驱动,光路切换机构包括切换杆、切换限程板、场镜切换板及物镜切换板,场镜切换板和物镜切换板上下水平设置,两者一端分别与切换杆连接,并由限程弧槽导向;该设备在扫描驱动机构和光路切换机构配合切换下,对两种光路工作距离不一致进行了补偿,只需一套扫描振镜组便可完成激光加工和OCT检测工作,工艺成本低,全程不需移动工件,提高检测的精度和效率。
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王威
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