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本申请实施例提供了一种太赫兹测量装置及系统，涉及光谱成像技术领域。其中，该装置包括：包括本体、安装在本体顶部的发射模块和接收模块、安装在本体第一侧部的光学扫描模块、安装在本体第二侧部的示踪激光模块、以及安装在本体底部的传感器模块，其中，在停止发射模块发射太赫兹光时，示踪激光模块发射示踪激光并传输至待测样品，形成激光测量区域，示踪激光的中心与太赫兹光的中心共轴；光学扫描模块按照参考扫描路径对激光测量区域进行扫描，以实现待测样品表面的模型重建；通过待测样品表面的模型和传感器模块检测到的距离，实现参考扫描路径的修正。本申请实施例解决了相关技术中存在的难以实现高精度的太赫兹测量的问题。