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高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法
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来源地:天津市-天津市-津南区
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    本发明涉及的CrAlSiN纳米复合涂层综合性能好,制备工艺简单,成分可控,重复性好,容易工业化生产。
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      王威 

        

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