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本实用新型涉及电子发射领域。本实用新型提供了一种X射线源装置。该X射线源装置包括三极式X射线源、真空腔、真空泵机组、阳极高压电源、栅极高压及脉冲驱动单元、真空环境监测单元和控制平台。三极式X射线源由阴极、栅极和阳极组成，并且阳极高压电源和栅极高压及脉冲驱动单元经真空腔法兰分别连接至三极式X射线源的阳极与栅极，三极式X射线源阴极接地。真空环境监测单元和真空泵机组分别经不同法兰连接至真空腔。该装置可以实现阴极测试与老化过程的自动控制，并避免阴极老化过程中持续打火导致的阴极损坏，具有较强的实用性。