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摘要：本发明公开了一种掺杂钛的石英玻璃及其制备方法、制备装置，该制备方法包括将含硅原料和含钛原料放入以氢氧火焰为反应能源的燃烧器中，采用立式化学气相沉积法制备低膨胀石英玻璃砣，将石英玻璃砣装入高温均化炉中均化处理，再经过冷加工制备得到掺杂钛的石英玻璃。该制备装置包括，四氯化硅控制系统和四氯化钛控制系统分别连接混料瓶，混料瓶氢气控制系统和氧气控制系统分别连接燃烧器，燃烧器位于燃烧炉的炉膛内，基础杆一端设有托盘，托盘位于炉膛内，所述基础杆另一端连接旋转机构，旋转机构连接升降系统，炉膛连接烟囱。本发明能够精确的控制掺杂数量，因此能够准确控制石英玻璃的膨胀系数。