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摘要：本实用新型提供一种大尺寸石英玻璃精密气氛调节退火炉，包括：支架、炉体、底座、驱动装置、气氛调节系统和温度控制系统。炉体安置在支架上且其内部中空形成炉膛，炉膛内壁设有加热层，加热层之外设有保温层；底座置于炉体的正下方，底座上依次设有保温层、加热层以及主轴，主轴的上端连接有托盘；驱动装置连接底座和主轴，驱动主轴旋转以及驱动底座沿支架垂向滑动；气氛调节系统包括设置于炉体上的进气通道和出气通道，进气通道上设有压力、流量调节器；温度控制系统包括多个分散设置于炉膛内壁的热电偶以及控制器。本实用新型可对直径600-700mm的石英玻璃进行精密退火，并制备结构浓度不同的石英玻璃，同时退火后应力双折射值达Ⅰ-Ⅱ类的要求。