有效期内知识产权情况:
"包含1件实用新型专利:
(1)实用新型专利
专利号:CN201721745217.0
专利名称: 一种可控线性蒸发装置"
详细信息:
本实用新型涉及一种可控线性蒸发装置,该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器,所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源,在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门,来控制所述坩埚内材料气体的压力,进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率。采用该可控线性蒸发装置进行蒸发镀膜时,可以更准确地控制平均蒸发速率,扩大蒸发速率的调节区间,提高线性蒸发源的瞬间蒸发速率,同时在改变温度工艺时节约原料的消耗。