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TMAH中文名称为四甲基氢氧化铵，是一种有机碱，它具有独特性质，在使用过程中不会留下金属离子，广泛应用于现代电子行业。电子级TMAH在电子行业中广泛用作硅晶片蚀刻剂、CMP过程清洗剂、IC，VLSI及TFT-LCD正胶显影剂。以绿色化工原料碳酸二甲酯（DMC）和三甲胺为原料来制备TMAH是一绿色化学工艺，生产过程中没有造成环境污染的物质产生，TMAH有非常好的经济前景和社会效益。