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针对现有微型振动陀螺抗冲击能力差、成本高、多轴测量交叉耦合大等技术难题，本项目通过对三轴一体的角速度敏感元件构建技术、反向串联敏感测量单元阵列实时消除加速度干扰技术、读出电路与角速度敏感结构集成等关键技术的研发、传感器制作工艺固化的技术开发以及在新能源汽车、医疗领域的典型示范应用的研究，构建适合大批量生产需要的关键技术，为下一步建设一条三轴单片集成MEMS陀螺传感器商品化生产所需的工艺线和测试系统奠定基础。 通过本项目的实施可以带动北京市智能制造（微传感器制造）和集成电路等产业的发展，传感器产品在新能源汽车、医药和医疗器械、人工智能等方面有广阔的应用前景，本项目实施完成后能够显著提升微机械惯性传感器的技术创新性、行业竞争力和商业可行性。 主要研发内容： （1）三轴一体的角速度敏感元件构建技术解决微型热流陀螺实际应用时多轴测量交叉耦合大、成本高的实用化和产业化瓶颈。 （2）反向串联敏感测量单元陈列实时消除加速度干扰技术解决微型热流陀螺实际应用中受线加速度的干扰大，无法实用化和产业化的难题。 （3）开展单片集成三轴MEMS陀螺（传感器）芯片小批量生产的工艺标准化、产品化研发，重点开展陀螺芯片制作工艺参数最佳化研发、陀螺芯片制作工艺规范化和提高成品率研发。 主要技术指标： 工艺成品率：≥70%。 产业化目标： 工艺验证：自主开发完成能够进行小批量生产的具有自主知识产权的1套关键工艺技术（工艺固化）。