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本申请提出一种近场太赫兹波光谱成像系统，利用衰减全反射模块的全反射原理，在衰减全反射模块的表面形成太赫兹波倏逝场，如此待测样品紧贴上述表面就能达到近场探测的目的。衰减全反射模块的使用能够直接承载待测样品而不需要设计单独的夹具，因而在检测样品，甚至是在体检测时使用都更加方便。此外，采用光控法实现太赫兹波段的单像素成像，由于调制掩膜是投影在体材料衰减全反射模块上，因而对投影面位置的精确度要求也不需要很高。进一步结合太赫兹时域光谱测量原理，通过重构不同时刻的太赫兹光场信号，从而使用更短的时间达到了高分辨率太赫兹多光谱成像的目的。