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摘要：本发明涉及有机硅单体合成领域，具体地，本发明涉及一种Cu-Cu2O-CuO三元铜基固溶催化剂及其制备方法。所述方法包括以下步骤：1)将包括金属铜粉0.5～40wt％和氧化铜20～80wt％的混合物作为原料，在惰性气体保护下，在600～1000℃下热处理0.5～12h，再于300～600℃下时效1～15h，得到三元铜基的固溶体；2)将步骤1)中的三元铜基的固溶体粉碎、球磨，得到Cu-Cu2O-CuO三元铜基固溶催化剂。本发明制备的铜基固溶催化剂表现出较高的二甲基二氯硅烷的选择性及硅粉原料的转化率。