有效期内知识产权情况:
"包含1件实用新型专利:
(1)实用新型专利
专利号:CN201721736339.3
专利名称: 一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置"
详细信息:
一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置,包括:蒸发材料;坩埚,所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料;喷管,所述喷管与坩埚的顶端端口相通;至少两个隔板,所述隔板为板状结构,且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔;所述不同隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁,且位于蒸发材料上方,所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。在热蒸发镀膜工艺中,多个具有通孔的隔板可顺利通过蒸气,但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠,因而阻挡大部分喷溅液滴,有效减少喷溅液滴到达镀膜表面,提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性,提高镀膜工艺的良品率。