技术指标 :
1放大倍率:内置集成彩色光学显微镜,光学放大 20倍;电子放大 80-65,000倍(非数字放大)
2背散射电子探测器分辨率: 优于14nm
3加速电压: 5kV—10kV连续可调,束斑直径可连续可调
4灯丝材料:六硼化铈,单根灯丝寿命:优于1500h;灯丝仓与电子仓、样品仓三仓分离,直接观测绝缘体不影响灯丝寿命,
5每次换样,抽真空时间小于15s;开始载样到成像时间30s,图像观测导航界面,光学导航界面与电子导航,与成像界面在同一屏幕上
6真空技术:有真空分级技术,低真空观测灯丝寿命不受影响,真空系统:隔膜泵,涡轮分子泵
7样品台移动控制方式:全自动马达样品台控制,配合样品光学、电子双重导航,实现鼠标点到哪看到哪,操作方便
8检测信号:高灵敏度背散射电子探测器
9观察模式:全面模式(形貌和成份)、形貌模式A(3D)、形貌模式B(3D)
10图像格式:jpg,tiff,bmp
11图像分辨率: 456x456;684x684;1024x1024;2048x2048
12软件平台:Linux系统,对病毒免疫
13数据存储:移动硬盘或者电脑、网络存储