规格型号 :

ei-501z

设备原值 :

179.8（万元）

产地国别 :

中国

学科领域 :

纺织科学技术,材料科学,化学工程

技术指标 :

（1）采用分子泵、机械泵组合系统，支持 6 位电子束蒸发源（适配于钨、氧化硅等高熔点材料）、热阻蒸发源（RH，适配金、铝等低熔点金属）及 EB+RH 复合配置，可实现多层膜或合金膜的同步蒸发；（2）双晶振膜厚测量系统实时监测，厚度控制精度 ±0.1 nm，基片旋转（8-20 rpm）与温度控制（室温 - 350℃）确保膜厚均匀性≤±3%（12 英寸基片），膜层纯度＞99.99%，附着力通过 ASTM 标准测试；（3）支持 2-12 英寸晶圆、方片及不定型基板（最大 300 mm×300 mm），标配夹具，可定制特殊形状基板夹具。

主要功能 :

为不同材料蒸镀金属层，减少粘结层的使用；对材料表面进行处理

服务内容 :

膜镀层（金、镍、铜、银、钛等金属）

收费标准 :

1000元/次/天，仅为机器使用费用，自备基材及原料。

用户须知 :

预约前自备基材及靶材，提前与负责人员沟通工艺