仪器信息
规格型号 :
HVPE-180
设备原值 :
196.0（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
材料科学,电子与通信技术,工程与技术科学基础学科
技术指标 :
设备为水平式开合炉体，极限真空度＜10Pa，压升率≤20Pa/8h，可生长 2 英寸，4 英寸外延片，组件包括工艺管，内衬管，镓舟，气体喷头与衬底托，衬底托有旋转和移动自动控制功能，镓舟内部设计有多层或多圈结构，工作温度 100℃~1200℃，六温区，温控精度≤±0.2℃，室温到 1100℃升温时间≤80min。
主要功能 :
采用电阻加热与PID精准控温，支持温度曲线编程；配备真空系统与自研压力控制阀，可分级抽真空保护石英腔。气路精确控制 N₂，O₂，HCl等工艺气体，衬底可水平移动与自动旋转。上位机支持工艺编辑，运行，暂停，跳步，实时监控温度，流量，压力，提供超温，气体偏差，泄漏，缺水等多级报警。自动记录历史数据，报警与操作日志，支持导出
服务信息
服务内容 :
外延服务：按分析测试需求，在衬底上完成 HVPE 外延薄膜沉积，提供符合测试规格的样品。
收费标准 :
按机时计费：500/h
用户须知 :
预约前需提交样品信息，工艺参数与测试目标，确认工艺可行性后预约上机，严禁擅自更改设备参数。
样品需符合4英寸以内尺寸要求，无污染物，无腐蚀性，避免损伤石英腔与气路系统。
操作仅限授权人员进行，必须遵守安全规范，佩戴防护用品，严禁带电作业与违规开合炉体。
工艺过程需按流程先小抽再主抽，禁止高抽速冲击石英腔；出现报警立即停机并上报。
工艺结束后清理腔室，更换老化密封圈，配合设备点检与维护，保持现场整洁。
因违规操作导致设备损坏，样品报废，由用户承担相应责任与维修费用。
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