规格型号 :

AS-5360

设备原值 :

109.85（万元）

产地国别 :

中国

学科领域 :

信息科学与系统科学,物理学,电子与通信技术

技术指标 :

1 温度范围10 K ~ 350 K 2 温度控制稳定性：≤ ± 10 mK @ 11 K ~ 350 K 3 显微镜系统光学分辨率优于4μm。 4 直流探针RF测量时，探针自带有≥50Ω匹配阻抗的SAM接头，为射频测量提供很好的匹配阻抗，DC-1GHz时：反射损耗S11，S22＜-20dB；传输损耗S12/S21＜±1dB。 5 探针台的探针臂移动范围: X方向不小于2英寸, Y方向不小于1英寸, Z方向不小于 0.7英寸 . 6 配置分子泵组一台，其中分子泵，干泵，全量程真空规为同一制造商生产，需配套波纹管及卡箍，可使探针台主机的真空度<5×10-5 Torr. 7 分体式循环水冷机一套，制冷功率≥8KW，温度控制精度：不低于±1℃

主要功能 :

本设备主要用于半导体材料及微纳光电器件的性能表征。它通过在超高真空腔体内集成精密温控系统，模拟器件在极端严苛环境下的工作状态，并在不进行管壳封装的情况下，直接对晶圆或芯片开展非破坏性的性能评估。 在电学表征方面，具有微米级精度的探针定位系统，可实现对微小单元极弱电流信号的稳定采集，用于分析载流子输运，接触电阻及器件稳定性。在光学表征方面，通过配置的高透过率光学窗口，支持引入外部激光激励或提取器件自发辐射信号，从而实现在变温环境下对光电转换效率，响应光谱及激射特性等参数的同步测试。

服务内容 :

用于半导体材料及微纳光电器件的性能表征

收费标准 :

1000/小时

用户须知 :

用户需提前联系管理员沟通