仪器信息
规格型号 :
VZ-400
设备原值 :
75.9（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
物理学,材料科学,能源科学技术
技术指标 :
1、保证单次镀膜均匀性优于1%；2、膜厚控制精度≤0.1纳米；3、通过机械泵和分子泵实现的极限本底真空度≤6*10-6Pa；4、关机12小时后腔室的本底真空≤0.5pa
主要功能 :
多工位有机无机蒸发镀膜系统是研究光电材料与器件的活性层性能的最有效仪器，可以制备金、银、铜铝等多种薄膜，是光电器件和微电子领域不可或缺的重要设备。
服务信息
服务内容 :
1、制备厚度可控的金、银、铜、铝等多种薄膜
2、制备有机小分子薄膜
收费标准 :
按天津工业大学大型仪器设备对外服务管理办法收费，不足1天40元/小时收费，大于1天按800元/天收费。
用户须知 :
1. 预约流程：用户需提前一周预约，遵守操作流程，确保设备在预约时间内可用。
2. 使用时间：设备开放时间为周一至周五9:00-17:00。
3. 操作要求：设备需由机组人员操作。
4. 材料提供：镀膜材料由本人提供。
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(20140022)吴以治
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