规格型号 :

AG-LED-4N-SLC-E

设备原值 :

199.95（万元）

产地国别 :

中国

学科领域 :

材料科学

技术指标 :

1.1系统集成式设计，积木式结构，符合人机工程学原理，金属铸造、稳定防震的底座，全面的防静电保护，各种调节和控制部件使用方便； 1.2光学系统：无限远光学系统。具备较长的工作距离和高数值孔径，具备色差校正性能，图像反差、衬度、分辨率较高。 ★1.3适用晶圆最大尺寸：不小于8英寸，并兼容2英寸、3英寸、4英寸和6英寸； 1.4曝光光源：UV LED曝光光源，至少具备三波段，波长为365nm，405nm，435nm； 1.5辅助光源：具备高亮度LED灯，支持荧光光源，白平衡滤光片和减光滤光片； ★1.6分辨率：≦1.0 um（硬接触式曝光模式，正型光刻胶厚度≧1μm，L/S=1:3）；

主要功能 :

实现有掩膜光刻，光刻精度1μm;实现器件原位观察功能。

服务内容 :

掩膜板光刻、显微观察

收费标准 :

100元/小时

用户须知 :

1.需要自行提供掩膜板；2.需要接受培训后方能操作；3.最小精度1μm；4.衬底最大尺寸4inch。