技术指标 :
二、技术指标:
1. 粗糙度测试模块
1.1 样品台行程≥15x15mm;
★1.2光学观察不小于X光学物镜/2.5μm分辨率;
★1.3 XY扫描范围不低于50x50μm,Z扫描范围不低于5μm;
1.4样品尺寸可达Ф ≤90mm,H≤20mm;
1.5工作模式:接触模式AFM、动态力模式(DAFM)、F-Z力曲线测量模式、RMS-Z曲线测量模式,摩擦力(FFM)/侧向力(LFM)模式、磁力(MFM)和静电力(EFM)模式;
1.6模数转换(ADC)通道:≥14 路;
1.7数模转换(DAC)通道:≥10 路。
2. 表面轮廓测试模块
2.1 镜头量程:±60μm、±600μm、±1800μm;
2.2 Z轴分辨率≤2nm;
2.3 可测最大表面斜率≥±45°