规格型号 :

Phantom LT

设备原值 :

193.2（万元）

产地国别 :

中国

学科领域 :

电子与通信技术,材料科学

技术指标 :

搭载集成光学参量放大器的全固态一体化激光系统，最大功率 10W，最大输入功率 40W，中心波长 1020-1040nm，拓展输出波长 320-505/525-640/640-1010/1050-2600nm；重复频率 1～200kHz 可调，脉宽 120-250fs，软件调谐 290fs-10ps，最大脉冲能量 200uJ，光束质量 TEM00，M2<1.2。稳定环境下 24h 输出脉冲稳定性 < 0.5%，100h 功率稳定性 < 0.5%；800nm 下 8h 功率稳定性 < 1%，1min 脉冲能量稳定性 < 1%，激光性能精准可控。

主要功能 :

利用等离子体实现半导体，绝缘体等材料的高精度刻蚀，激光参数可灵活调控，刻蚀精度高，均匀性好，适用于微纳器件（MEMS，集成电路），微纳结构的制备与加工，满足微电子，微纳制造领域研发需求。

服务内容 :

半导体 / 绝缘体材料刻蚀，微纳结构加工，MEMS 器件制备

收费标准 :

基础刻蚀：2000/小时 特殊工艺：4000/小时

用户须知 :

1. 操作人员需经严格培训并考核合格； 2. 实验过程需全程监控，严禁无人值守。