仪器信息
规格型号 :
FFY-182P
设备原值 :
127.8（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
电子与通信技术,材料科学
技术指标 :
抛光盘尺寸：≥400mm，抛光盘转速：0-200rpm可调，抛光盘端跳：≤5μm，抛光头压力控制范围：0-45kg可调，抛光头摆臂范围：±10mm，抛光头转速：0-200rpm可调，修整装置：具备摇摆功能和驱动装置；转速：0-160rpm可调
主要功能 :
可加工4英寸及以下尺寸的晶片，可抛光材料至少包括Si、SiO2、SiNx、AlN、GaAs、GaN、SiC、Ga2O3、Al2O3
服务信息
服务内容 :
半导体晶片的化学机械抛光
收费标准 :
1000元/片
用户须知 :
请提前电话联系沟通具体需求
联系我们
(20130005)宁平凡
更多推荐
