规格型号 :

R95

设备原值 :

98（万元）

产地国别 :

中国

学科领域 :

纺织科学技术

技术指标 :

主要参数有:(1)极限真空：8×10-6Pa (经过烘烤后);(2)工作真空：40分钟可达到6×10-4 Pa (系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)；(3)系统保压：系统停泵关机12小时后，系统真空度≤3Pa；(4)基片尺寸：100x100mm；(5)样品架与靶表面距离：50~120mm(手动调控)；(6)基片加热温度：室温~300°C。温度可以PED自动控制，可控可调。达到需要加热的温度后，温度控制精度为±1℃：(7)基片转速：0~30r/min，连续可调；(8)磁控溅射电源：射频源500W、13.56MHz；(9)供电：0~380V，三相五线制供电系统，冷却水循环量lM3/h，工作环境温度10°C~35°C，冷却水温度15°C~25°C；(10)质量流量控制器量套：Ar：0~200seem，O2：0~100seem；

主要功能 :

在织物基材表面镀膜，包括金属、金属氧化物

服务内容 :

用于在材料表面制备各种金属薄膜、化合物薄膜、绝缘膜、介质膜、半导体膜

收费标准 :

200元/小时

用户须知 :

需至少培训两个月后，才能进行操作